በሴሚኮንድገር ውርደት ውስጥ ጋዞች ሁሉም ስራዎች እና ሰጭዎች ሁሉንም ትኩረት ያገኙታል. ሰሪዎች ወደ ሲሊኮን ዘወትር በሲሊኮን ውስጥ ሲሊቀን ሲሉ ሲሊኮን ሲደውሉ ሲሊኮን ያከማቹ ሲሆን የተሟላ ወረዳዎችን ለማካሄድ የሌዘር ጋዜጣዎች ተከታታይ ጋዞች ናቸው. እነዚህ ጋዞች በብዙ የመድረሻ ሂደት ውስጥ ለማዳበር የሚያገለግሉ እነዚህ ጋዞች ከፍተኛ የመነፅህ ሂደት ናቸው. ከዚህ ውስን በተጨማሪ, ብዙዎቹ ሌሎች አሳሳቢ ጉዳዮች እና ውስንነቶች አሏቸው. አንዳንድ ጋዞቹ በደመወዝ ምክንያት ናቸው, ሌሎች ደግሞ ቆሻሻ ናቸው, እና ሌሎች ደግሞ በጣም መርዛማ ናቸው.
ሁሉም ውስንነቶች ለሴሚኮንደርሩቡር ኢንዱስትሪ ከፍተኛ ፈታኝ ፈታኝ ሁኔታዎችን ለማምረቻ ስርዓቶች ስርዓቶችን ያካሂዳሉ. ቁሳዊ መረጃዎች እየጠየቁ ናቸው. ከቁሳዊ መግለጫዎች በተጨማሪ የጋዝ ማሰራጫ ድርድር የተወሳሰቡ የኤሌክትሮሜካኒካል ድርድር የተወሳሰቡ የኦሌክትሮሜካኒካል ድርድር ነው. የተሰበሰቡባቸው አካባቢዎች ውስብስብ እና ተደራሽነት ናቸው. የመጫን ሂደቱ አካል በቦታው ላይ የሚከናወነው ውህደት በቦታው ላይ ነው. የ Oratanation ነባሪው በጥብቅ, ተፈታታኝ ሁኔታዎች የበለጠ በሚያስደንቅ ሁኔታ ማምረቻዎችን በሚፈጠሩበት ጊዜ የቢራሲካ ስርጭት መስፈርቶችን በተመለከተ ከፍተኛ መግለጫዎችን ለማሟላት ይረዳል.
ሴሚኮንዳተር ኢንዱስትሪ እንዴት ጋዞችን ይጠቀማል
የጋዝ ስርጭት ስርዓት ማምረት ከመሞከርዎ በፊት ቢያንስ የሴሚኮንድገር ማምረቻዎችን መሰረታዊ ነገሮችን መረዳት ያስፈልጋል. ሴሚኮኖዲካዎች በዋናነት ሰዶማውያን በከፍተኛ ደረጃ ቁጥጥር በሚደረግበት መንገድ ላይ ወደ አከባቢው ፈሳሾችን ተቀማጭ ገንዘብ ይጠቀማሉ. እነዚህ ተቀማጭ ፈሳሾች ተጨማሪ ጋዞችን, ላቢዎን, ኬሚካዊ ንጥረ ነገሮችን እና ሙቀትን በማስተዋወቅ የተሻሻሉ ናቸው. በሰፊው ሂደት ውስጥ ያሉት እርምጃዎች የሚከተሉት ናቸው-
ተቀማጭ-ይህ የመጀመሪያውን የሲሊኮን ዋሻ የመፍጠር ሂደት ነው. የሲሊኮን ቅድመ-ሁኔታ ጋዞች ወደ ባዶ ተቀማጭ ክፍተቶች ውስጥ ገብተዋል እና በኬሚካዊ ወይም በአካላዊ ግንኙነቶች በኩል ቀጫጭን ሲሊኮን ያሉ ዎርኮች ይመሰርታሉ.
የፎቶግራፍ ሥዕል: የፎቶግራፍ ክፍል ላኪዎችን ያመለክታል. ከፍተኛው በጣም ከባድ የአልትራሳውንድ ግራንት ውስጥ (EIV) ከፍተኛ የወንጀለኛ መግለጫ ቺፕስ ለማድረግ ያገለገለው የካርቦን ዳይኦክሳይድ ሌዘር ወደ ቼክ ውስጥ ወደ እስኪስተካክል ለመግባት ያገለግላል.
Etching: - በመግቢያው ሂደት ውስጥ ሃሎገን-ካርቦን ጋዝ በሲሊኮን ውስጥ የተመረጡ ቁሳቁሶችን ለማስጀመር እና ለማቃለል ወደ ክፍሉ ውስጥ ገብቷል. ይህ ሂደት ውጤታማ በሆነው ላይ የተተገበረውን የወረዳ ወረዳዎች በተቀናጀው ላይ እንዲተካ ያደርጋል.
መጫዎቻ-ሴሚሚዶቹ የሚመራውን ትክክለኛ ሁኔታ ለመወሰን ይህ የተዘበራረቀውን ወለል ባህሪን የሚቀይር ተጨማሪ እርምጃ ነው.
ኢንዛምበር: በዚህ ሂደት ውስጥ በባህሩ ንብርብሮች መካከል ያለው ግብረመልስ ከፍ ባለው ግፊትና በሙቀት መጠን ተነስቷል. በመሠረቱ, የቀደመውን ሂደት ውጤቶችን ያጠናቅቃል እናም የተጠናቀቀውን አንጎለ ኮምፒውተር በሚፈጠርበት ጊዜ ውስጥ ይፈጥራል.
ምክር ቤት እና መስመር ጽዳት-በቀደሙት እርምጃዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የዋሉ ጋዞች ብዙውን ጊዜ ግዙፍ እና የመዝጋት, ብዙውን ጊዜ በጣም መርዛማ እና ምላሽ ይሰጣሉ. ስለዚህ የሂደቱ ትምህርታዊ እና የጋዝ መስመሮችን የመመገብ ጎጂ ግብረመልሶችን ለመቀነስ ወይም ለማስወጣት በገለልተኛ ጋዞች ለመመገብ, ከዚያም የውጭ ዜጎች ከውጭ አካባቢ ውስጥ የሚበሉ ጋዞችን ለመከላከል በሚያስደንቅ ጋዞች መሞላት አለባቸው.
በ Semicondeructor ኢንዱስትሪ ውስጥ የጋዝ ስርጭት ስርዓቶች ብዙውን ጊዜ በተሳተፉ በርካታ የተለያዩ ጋዞች እና ከጊዜ በኋላ የጋዝ ፍሰት, የሙቀት መጠን እና ግፊት ከጊዜ በኋላ መቆየት አለባቸው. ይህ በሂደቱ ውስጥ ለእያንዳንዱ ነዳጅ አስፈላጊ በሆነው እጅግ በጣም የተወሳሰበ ነው. በቀዳሚው ውስጥ ጥቅም ላይ የዋሉት ጋዞች ከመስመር ውስጥ እና ክፍሎቹን ማፍሰስ ወይም የሚቀጥለው የሂደቱ ቀጣይ ደረጃ ከመጀመሩ በፊት ሊፈነዳቸው ይገባል. ይህ ማለት የተለያዩ ልዩ ልዩ መስመሮችን እና ጣውላዎች መካከል, በተፈጥሮው አካላት እና በአስተዳዳሪዎች መካከል, የተፈጥሮ ጋዝ አቅርቦትን ከመውጣቱ ለመከላከል በተሰጡት የቱቦቹ ክፍሎች እና በድምጽዎች መካከል በይነገጽ እና በይነገጽ መካከል በይነገጽ ውስጥ ይገባል.
በተጨማሪም, የፅዳት ክፍል መጋገሪያዎች እና ልዩ ጋዞች በአጋጣሚ የሚከሰት ድንግል በሚከሰትበት ጊዜ ማንኛውንም አደጋዎች ለማቃለል በጽዳት ክፍል ውስጥ የጅምላ ጋዝ አቅርቦት ሥርዓቶች የተጠበቁ ናቸው. በእንደዚህ አይነቱ ውስብስብ አካባቢ ውስጥ እነዚህን ጋዝ ስርዓቶች ማሸነፍ ቀላል ሥራ አይደለም. ሆኖም, በዝርዝር እና ትክክለኛውን መሣሪያ በትኩረት, ይህ ተግባር በተሳካ ሁኔታ ሊከናወን ይችላል.
የጋዝ ስርጭት ስርዓቶችን በሴሚኮንድዌይ ኢንዱስትሪ ውስጥ ማምረት
በሴሚኮንዳክተር የጋዝ ስርጭት ስርዓቶች ውስጥ ያገለገሉ ቁሳቁሶች ከፍተኛ ተለዋዋጭ ናቸው. እጅግ በጣም ከባድ የሆኑ ጋዞችን ለመቋቋም እንደ PTEFE- በተሸፈኑ የብረት ቧንቧዎች ያሉ ነገሮችን ማካተት ይችላሉ. በሴሚኮንድገር ኢንዱስትሪ ውስጥ አጠቃላይ ዓላማ ለማፍሰስ የሚያገለግል በጣም የተለመደው ነገር 316L አይዝጌ ብረት ነው - ዝቅተኛ የካርቦን አይዝጌ ብረት ተለዋዋጭ ነው. ከ 3166 ጋር ሲመጣ 316, 3166, 316l ለጉባኤው የንፅህና ማቆሚያዎች የበለጠ ተከላካይ ነው. ካርቦን ከሚያስከትሉ በርካታ መልመጃዎች ጋር በተያያዘ በርካታ መልመሻዎችን እና ተለዋዋጭ ከሆኑ ጋዞች ጋር በሚገናኝበት ጊዜ ይህ አስፈላጊ ግምት ነው. የ 316L አይዝጌ አረብ ብረት የካርቦን አስገራሚ አረብ ብረት ያወጣል. እንዲሁም በ elds እና በሙቀት የተጎዱ ዞኖች በቆርቆሮ ውስጥ ለማራመድ የሚረዳ የእህል ድንበር የአፈር መሸርሸር አቅምን ይቀንሳል.
ወደ የምርት መስመር መስመሮች እና ብክለት የሚመራ መርዛማ ንጥረ ነገሮችን ለመቀነስ, 316L አይዝጌ ብረት ከንጹህ የአርጎን ጋዝ ጋዜጣ ጋዜጣዎች ጋር የተጣበቁ ዋልሚንግላንድ ኢንዱስትሪ መደበኛ ነው. በሂደቱ ውስጥ ከፍተኛ የመንፃት አካባቢን ለማቆየት የሚያስፈልገውን መቆጣጠሪያን የሚያቀርብ ብቸኛ የማገጃ ሂደት. አውቶማቲክ ኦቭቪናል ዌልዲንግ የሚገኘው በሴሚኮንዳክተር የጋዝ ስርጭት ብቻ ነው
ፖስታ ጊዜ-ጁላይ-18-2023