በሴሚኮንድገር ማምረቻ ውስጥ ጥቅም ላይ ለሚውሉ ጋዞች

የሴሚክዮዲንግ ገበያ የሚያድግ, ንፅህና እና ትክክለኛነት የመግቢያ ደረጃዎች የበለጠ ጠቋሚ ይሆናሉ. በሴሚኮንድገር ማምረቻ ማምረቻዎች ጥራት ውስጥ ከሚወስኑት ምክንያቶች አንዱ በሂደቱ ውስጥ ጥቅም ላይ የዋሉ ጋዞች ነው. እነዚህ ጋዞች በማኑፋክቸሪንግ ሂደት ውስጥ ብዙ ሚናዎችን ይጫወታሉ,

ትክክለኛ የሥራ ሂደት ቁጥጥር

የመበያ መከላከል

የብረት ንብረት ማጎልበቻ

እነዚህን ሚናዎች ውጤታማ በሆነ መንገድ ለማከናወን የጋዝ አቅርቦት እና ማሰራጫ ስርዓቱ ቀልጣፋ መሆን አለበት. በሴሚኮንዱገር ማኑፋክቸሪንግ የጋዝ አያያዝ ስርዓቶች ዲዛይን በጠንካራ አካላት አካላት ውስጥ መደገፍ አለባቸው እና ብጁ የሴቶች ትምህርት እና ከፍተኛ ጥራት ያለው ማምረት ማበረታታት አለባቸው.

በሴሚኮንድገር ማምረቻ ውስጥ ጥቅም ላይ የዋሉ ጋዞች

የማምረቻው ሴኮሚክ ዲኬቶች ሂደት የተለያዩ ሂደቶችን በተለያዩ ደረጃዎች መጠቀምን ይፈልጋል.

እንደ ናይትሮጂን, ሃይድሮጂን, አርቲን እና ሄልየም ያሉ የተለመዱ ጋዞች በሚኖሩበት ጊዜ በንጹህ መልክ ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ, የተወሰኑ ሂደቶች ልዩነቶች ሊፈልጉ ይችላሉ. ሲላዎች ወይም ሳሊኬኖች, ሄክሳፋሊንግስ, ሂሳቦች እና ሃይድሮካሮች በሴሚኮንድገር ማምረቻ ውስጥ ጥቅም ላይ ከሚውሉ ልዩ ልዩ ጋዞች መካከል ጥቂቶቹ ናቸው. ከነዚህ ጋዞች ውስጥ ብዙዎቹ ለጋዝ ስርዓቶች ምርጫዎች እና ንድፍ ላይ ተፈታታኝ ሁኔታዎችን በመፍጠር አደገኛ ወይም ከፍተኛ ምላሽ ሰጭ ሊሆኑ ይችላሉ.

አንዳንድ ምሳሌዎች እነሆ-

\ ሃይድሮጂን እና ሊሊየም በልጅነታቸው እና በክብደታቸው ምክንያት ከመጥፋቱ እና ተስማሚ ስርዓቶች በቀላሉ ሊፈቱ ይችላሉ.

\ Silans በጣም ተቀጣጣይነት ያላቸው እና በድንገት ማዋሃድ (በራስ-ሰር) በአየር ውስጥ ሊሆኑ ይችላሉ.

በመቀጠልዋ ውስጥ ጥቅም ላይ የዋለው እና የቤቶበርን ባለሙያው የተቀመጠ እና ወደ አከባቢው በሚሄድበት ጊዜ \ nichrogen AWONGAGENGANG እና CHEBERCERCERCAME STAGE ወደ አከባቢው ሲመጣ ኃይለኛ የግሪንሃውስ ጋዝ ይሆናል.

\ የሃይድሮጂን ፍሎራይድ (ግሎክ ጋዝ) ለብረት መውደቅ ከፍተኛ ጠፍጣፋ ነው.

\ Trimerylogium እና አሞኒያ ለማስተናገድ አስቸጋሪ ሊሆኑ ይችላሉ - በሙቀት እና በግፊት መስፈርቶች ውስጥ ትናንሽ ቅልጥፍናዎች ተቀማጭ ቦርድ ላይ ተጽዕኖ ያሳድራሉ.

የእነዚህን ጋዞች አሉታዊ ተጽዕኖዎችን ለመቀነስ የስራ ሂደት ሁኔታዎች በስርዓት ንድፍ ወቅት ከፍተኛ ቅድሚያ መስጠት አለባቸው. በመገንባት ሂደት ውስጥ እንደ AFK diaphragm ቫል ves ች ያሉ ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን አካላት መጠቀም አስፈላጊ ነው.

የስርዓት ንድፍ ተፈታታኝ ሁኔታዎችን መፍታት

የሴሚክዮዲተር ደረጃ ጋዞች በአብዛኛዎቹ ከፍተኛ ንፅህናዎች ውስጥ ከፍተኛ ንፅህናዎች ናቸው እናም እንደ ETCH እና ተቀማጭ ሰቆች ያሉ በማኑፋክቸሪንግ ሂደት ውስጥ በተለያዩ ደረጃዎች ላይ ምላሽ ይሰጣሉ. የእነዚህ ጋዞች ፍሳሽ ወይም ብክለት አሉታዊ ተጽዕኖዎች ሊኖሩት ይችላል. ስለዚህ, የቃሉ የታሸጉ እና የቆራሽ አካላት የመቋቋም አቅም የሌለው የስርዓት አካላት እንዲሁም እጅግ በጣም ከፍተኛ የንፅህና ደረጃ መኖራቸውን ለማረጋገጥ የተስተካክለው ስርዓት መጨረስ አስፈላጊ ነው.

በተጨማሪም, ከእነዚህ ጋዞች መካከል አንዳንዶቹ ተፈላጊ የአሂድ ሁኔታዎችን ለማሳካት ሊሞቁ ወይም ሊቀዘቅዙ ይችላሉ. በደንብ ያልተያዙ አካላት የሙቀት ቁጥጥርን ያረጋግጣሉ, ይህም የመጨረሻው ምርት ውጤታማ አፈፃፀም ወሳኝ ነው.

ከምንጩ ማስገባቱ ወደ ጥቅም ላይ ከሚውለው እስከአድግ እስከ ተለያዩ ክፍሎች ድረስ በሴሚኮንድገር የጸዳ ክፍሎች እና በቫኪዩም ክፍሎች ውስጥ የሚፈለግ የአልትራሳውንድ ከፍተኛ ንፅህና, የግፊት, ግፊት, ግፊት እና የፍሰት ቁጥጥር ይደግፋል.

በሴሚኮንድሩክ እርሻዎች ውስጥ ጥራት ካለው አካላት ጋር የተቀየሱ ስርዓቶች

የጥራት አካላት እና ንድፍ ማመቻቸት ሚና ለ Semicoundundianters ትክክለኛነት እና ደህንነቱ የተጠበቀ ማምረት ወሳኝ ነው. የተጠቀሙባቸው አካላት በተለያዩ የማኑፋካክ በሽታ ከፍተኛ ጥራት ያላቸው ደረጃዎች, የአካል ብቃት እንቅስቃሴ ቫል ves ች, መገጣጠሚያዎች, ተቆጣጣሪዎች, የመርዛማ አካላት, የመቆጣጠር እና የመታተም ቅንፎች ጋር የተያዙ ናቸው.

አልትራሳውንድ ከፍተኛ ንፅህና

ነፃ-ነፃ ማኅተሞች

የሙቀት መጠኑ ቁጥጥር የሚደረግበት ሽፋን

የግፊት ቁጥጥር

ጥፋተኛ መቋቋም

ኤሌክትሮላይትቲክ የፖላንድ ሕክምና