ለሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ለከፍተኛ-ንፅህና የጋዝ አቅርቦት ስርዓቶች የቴክኖሎጂ መፍትሄዎች

ከፍተኛ-ንፅህና ያለው የጋዝ ቧንቧ ቴክኖሎጂ ከፍተኛ-ንፅህና ያለው የጋዝ አቅርቦት ስርዓት አስፈላጊ አካል ነው, ይህም አስፈላጊውን ከፍተኛ-ንፅህና ጋዝ ወደ አጠቃቀሙ ደረጃ ለማድረስ እና አሁንም ጥራት ያለው ጥራትን ለመጠበቅ የሚያስችል ቁልፍ ቴክኖሎጂ ነው;ከፍተኛ-ንፅህና ያለው የጋዝ ቧንቧ ቴክኖሎጂ የስርዓቱን ትክክለኛ ንድፍ, የመገጣጠሚያዎች እና መለዋወጫዎች ምርጫ, ግንባታ እና ጭነት እና ሙከራን ያካትታል.በቅርብ ዓመታት ውስጥ, ከፍተኛ-ንጽህና ጋዞች ንጽህና እና ርኵሰት ይዘት ላይ እየጨመረ ጥብቅ መስፈርቶች መጠነ ሰፊ የተቀናጁ ወረዳዎች የተወከለው microelectronics ምርት ውስጥ ከፍተኛ-ንጽህና ጋዞች የቧንቧ ቴክኖሎጂ አሳሳቢ እና አጽንዖት አድርጓል.የሚከተለው ከፍተኛ-ንፅህና ያለው የጋዝ ቧንቧዎች ከቁስ ምርጫ አጭር መግለጫ ነው።of ግንባታ, እንዲሁም ተቀባይነት እና የዕለት ተዕለት አስተዳደር.

የተለመዱ ጋዞች ዓይነቶች

በኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪ ውስጥ የተለመዱ ጋዞች ምደባ፦

የተለመዱ ጋዞች(የጅምላ ጋዝ): ሃይድሮጂን (ኤች₂₎ናይትሮጅን (ኤን₂ኦክሲጅን (ኦ₂አርጎን (ኤ₂) ወዘተ.

ልዩ ጋዞችሲኤች ናቸው።₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,ኤች.ሲ.ኤል,CF₄ ,NH_3,POCL_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  ቢሲኤል_{3 ,}SIF₄ ,CLF₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,ኤች.ኤፍ,HBR ኤስኤፍ₆…… ወዘተ.

የልዩ ጋዞች ዓይነቶች በአጠቃላይ እንደ መበስበስ ሊመደቡ ይችላሉ።ጋዝ፣ መርዛማጋዝ, ተቀጣጣይጋዝ, ተቀጣጣይጋዝ, inertጋዝወዘተ በአጠቃላይ ጥቅም ላይ የዋሉ ሴሚኮንዳክተር ጋዞች በአጠቃላይ እንደሚከተለው ይመደባሉ.

(i) የሚበላሽ / መርዛማጋዝኤች.ሲ.ኤል., ቢ.ኤፍ₃፣ ደብሊውኤፍ₆, HBr, SiH₂Cl₂, ኤን.ኤች₃፣ ፒኤች₃, Cl₂፣ ቢ.ሲ.ኤል₃… ወዘተ.

(ii) ተቀጣጣይነትጋዝ: ኤች₂፣ CH₄, ሲኤች₄፣ ፒኤች₃, AsH3, SiH₂Cl₂፣ ቢ₂H₆፣ CH2F_2,CH₃ኤፍ፣ CO… ወዘተ

(iii) ተቀጣጣይነትጋዝ: ኦ₂, Cl₂፣ ኤን₂ኦ፣ኤን.ኤፍ₃… ወዘተ.

(iv) የማይገባጋዝ፦ ኤን₂፣ ሲኤፍ₄፣ ሲ₂F₆፣ ሲ₄F_8,ኤስ.ኤፍ₆፣ CO₂፣ ኔ ፣ ከር ፣ እሱ… ወዘተ

ብዙ ሴሚኮንዳክተር ጋዞች ለሰው አካል ጎጂ ናቸው.በተለይም ከእነዚህ ጋዞች ውስጥ አንዳንዶቹ እንደ ሲኤች₄ ድንገተኛ ማቃጠል ፣ መፍሰስ በአየር ውስጥ ካለው ኦክስጅን ጋር በኃይል ምላሽ እስከሚሰጥ እና ማቃጠል እስከሚጀምር ድረስ ፣እና ኤኤስኤች₃በጣም መርዛማ ፣ ማንኛውም ትንሽ መፍሰስ የሰውን ሕይወት አደጋ ላይ ሊጥል ይችላል ፣ ምክንያቱም በእነዚህ ግልጽ አደጋዎች ምክንያት ነው ፣ ስለሆነም የስርዓቱ ዲዛይን ደህንነት መስፈርቶች በተለይ ከፍተኛ ናቸው።

የትግበራ ጋዞች ወሰን  

እንደ ዘመናዊ ኢንዱስትሪ አስፈላጊ መሠረታዊ ጥሬ ዕቃዎች የጋዝ ምርቶች በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ, እና በብረታ ብረት, በብረት, በፔትሮሊየም, በኬሚካል ኢንዱስትሪ, በማሽነሪዎች, በኤሌክትሮኒክስ, በመስታወት, በሴራሚክስ, በግንባታ እቃዎች, በግንባታ ውስጥ ብዙ ቁጥር ያላቸው የተለመዱ ጋዞች ወይም ልዩ ጋዞች ጥቅም ላይ ይውላሉ. , የምግብ ማቀነባበሪያ, የመድሃኒት እና የሕክምና ዘርፎች.የጋዝ አተገባበር በተለይ በእነዚህ መስኮች ከፍተኛ ቴክኖሎጂ ላይ ጠቃሚ ተጽእኖ አለው, እና አስፈላጊው ጥሬ እቃ ጋዝ ወይም ሂደት ጋዝ ነው.የተለያዩ አዳዲስ የኢንዱስትሪ ዘርፎች እና ዘመናዊ ሳይንስ እና ቴክኖሎጂ ፍላጎት እና ማስተዋወቅ ብቻ የጋዝ ኢንዱስትሪ ምርቶችን በአይነት፣ በጥራት እና በመጠን በዘለለ ሊለማ ይችላል።

በማይክሮ ኤሌክትሮኒክስ እና ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ የጋዝ መተግበሪያ

በሴሚኮንዳክተር ሂደት ውስጥ የጋዝ አጠቃቀም ሁል ጊዜ ትልቅ ሚና ተጫውቷል ፣ በተለይም ሴሚኮንዳክተር ሂደት በተለያዩ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ ከባህላዊው ULSI ፣ TFT-LCD እስከ የአሁኑ ማይክሮ-ኤሌክትሮ-ሜካኒካል (MEMS) ኢንዱስትሪ ፣ ሁሉም በሰፊው ጥቅም ላይ ውሏል ። የሴሚኮንዳክተር ሂደት ተብሎ የሚጠራውን እንደ የምርት ማምረት ሂደት የሚጠቀሙት.የጋዝ ንፅህና በአካላት እና በምርት ምርቶች አፈፃፀም ላይ ወሳኝ ተፅእኖ አለው, እና የጋዝ አቅርቦት ደህንነት ከሰራተኞች ጤና እና ከእፅዋት ስራዎች ደህንነት ጋር የተያያዘ ነው.

በከፍተኛ ንፅህና ጋዝ ማጓጓዣ ውስጥ ከፍተኛ-ንፅህና ያለው የቧንቧ መስመር አስፈላጊነት

ከማይዝግ ብረት ማቅለጥ እና ቁሳቁስ በመሥራት ሂደት ውስጥ 200 ግራም ጋዝ በአንድ ቶን ሊወሰድ ይችላል.አይዝጌ አረብ ብረት ከተሰራ በኋላ መሬቱ ከተለያዩ ብክለቶች ጋር ተጣብቆ ብቻ ሳይሆን በብረት ጥልፍልፍ ውስጥም የተወሰነ መጠን ያለው ጋዝ ወስዷል።በቧንቧው ውስጥ የአየር ፍሰት በሚኖርበት ጊዜ ብረቱ ይህንን የጋዝ ክፍል ይይዛል, እንደገና ወደ አየር ውስጥ ይገባል, ንጹህ ጋዝ ይበክላል.በቱቦው ውስጥ ያለው የአየር ፍሰት የተቋረጠ ፍሰት ሲሆን ቱቦው በግፊት ውስጥ ያለውን ጋዝ ያስተዋውቃል እና የአየር ፍሰቱ ማለፍ ሲያቆም በቱቦው ውስጥ ያለው የአየር ፍሰት መፍትሄ ለማግኘት የግፊት ጠብታ ይፈጥራል እና የተፈታው ጋዝ እንዲሁ ወደ ቱቦው ውስጥ ወዳለው ንጹህ ጋዝ ይገባል ። እንደ ቆሻሻዎች.በተመሳሳይ ጊዜ ማስታወቂያው እና መፍትሄው ይደገማል, ስለዚህም በቧንቧው ውስጠኛው ክፍል ላይ ያለው ብረትም የተወሰነ መጠን ያለው ዱቄት ያመነጫል, እና ይህ የብረት ብናኝ ቅንጣቶች በቧንቧው ውስጥ ያለውን ንጹህ ጋዝ ያበላሻሉ.ይህ የቱቦው ባህርይ የተጓጓዘውን ጋዝ ንፅህናን ለማረጋገጥ አስፈላጊ ነው, ይህም የቧንቧው ውስጣዊ ገጽታ በጣም ከፍተኛ ለስላሳነት ብቻ ሳይሆን ከፍተኛ የመልበስ መከላከያን ይጠይቃል.

ጠንካራ የመበላሸት አፈፃፀም ያለው ጋዝ ጥቅም ላይ በሚውልበት ጊዜ ዝገት የሚቋቋም አይዝጌ ብረት ቧንቧዎች ለቧንቧ መስመር መጠቀም አለባቸው።አለበለዚያ ቧንቧው በውስጠኛው ገጽ ላይ በመዝገቱ ምክንያት የዝገት ቦታዎችን ይፈጥራል, እና በከባድ ጉዳዮች ላይ, ከፍተኛ መጠን ያለው የብረት ማስወገጃ ወይም ቀዳዳ እንኳን ይኖራል, ይህም የሚሰራጨው ንጹህ ጋዝ ይበክላል.

የከፍተኛ ንፅህና እና ከፍተኛ ንፅህና የጋዝ ማስተላለፊያ እና የማከፋፈያ ቧንቧዎች ትስስር.

በመርህ ደረጃ, ሁሉም የተገጣጠሙ ናቸው, እና ጥቅም ላይ የሚውሉት ቱቦዎች በሚቀነባበርበት ጊዜ በድርጅቱ ውስጥ ምንም ለውጥ እንዳይኖራቸው ይፈለጋል.በጣም ከፍተኛ የካርቦን ይዘት ያላቸው ቁሳቁሶች በተበየደው ጊዜ በተበየደው ክፍሎች የአየር permeability ተገዢ ናቸው, ይህም ቧንቧው ውስጥ እና ውጭ ጋዞች መካከል የጋራ ዘልቆ ያደርገዋል እና የሚተላለፍ ጋዝ ንጽህና, ድርቀት እና ንጽህና ያጠፋል, በዚህም ምክንያት ኪሳራ ያስከትላል. ጥረታችን ሁሉ ።

ለማጠቃለል ያህል, ለከፍተኛ ንፅህና ጋዝ እና ልዩ የጋዝ ማስተላለፊያ ቧንቧ, ከፍተኛ-ንፅህና ያለው አይዝጌ ብረት ቧንቧ ልዩ ህክምናን መጠቀም, ከፍተኛ ጥራት ያለው የቧንቧ መስመር ስርዓት (ቧንቧዎች, እቃዎች, ቫልቮች, ቪኤምቢ, ቪኤምፒን ጨምሮ) በ ውስጥ መጠቀም አስፈላጊ ነው. ከፍተኛ-ንፅህና ያለው የጋዝ ስርጭት ወሳኝ ተልእኮ ይይዛል።

የንጹህ ቴክኖሎጂ አጠቃላይ ጽንሰ-ሀሳብ ለማስተላለፊያ እና ማከፋፈያ ቧንቧዎች

ከፍተኛ ንፁህ እና ንጹህ የጋዝ አካልን ከቧንቧ ጋር ማስተላለፍ ማለት ለጋዙ ሶስት ገፅታዎች የተወሰኑ መስፈርቶች ወይም መቆጣጠሪያዎች አሉ ማለት ነው.

የጋዝ ንፅህና፡ በ gGas ንፅህና ውስጥ ያለው የንፅህና ከባቢ አየር ይዘት፡ በጋዝ ውስጥ ያለው የንፁህ አየር ይዘት፣ አብዛኛውን ጊዜ እንደ 99.9999% የጋዝ ንፅህና በመቶኛ ይገለጻል፣ እንዲሁም እንደ ርኩስ ከባቢ አየር ይዘት ppm ፣ ppb፣ ppt.

ደረቅነት፡- በጋዝ ውስጥ ያለው የእርጥበት መጠን ወይም እርጥበታማ ተብሎ የሚጠራው አብዛኛውን ጊዜ በጤዛ ነጥብ ይገለጻል፣ ለምሳሌ የከባቢ አየር ግፊት ጠል ነጥብ -70።ሲ.

ንፅህና፡- በጋዝ ውስጥ የተካተቱት የብክለት ቅንጣቶች ብዛት፣ የµm ቅንጣት መጠን፣ ምን ያህል ቅንጣቶች/M3 ለመግለፅ፣ ለተጨመቀ አየር፣ እንዲሁም የዘይት ይዘቱን በሚሸፍነው ምን ያህል mg/m3 የማይወገድ ጠንካራ ቅሪቶች አንፃር ይገለጻል። .

የብክለት መጠን ምደባ፡ የብክለት ቅንጣቶች በዋናነት የቧንቧ መስመር ዝገትን፣ ማልበስ፣ በብረት ቅንጣቶች የሚመነጩ ዝገትን፣ የከባቢ አየር ጥቀርሻ ቅንጣቶችን፣ እንዲሁም ረቂቅ ህዋሳትን፣ ፋጃዎችን እና እርጥበት የያዙ ጋዝ ጤዛ ጠብታዎችን፣ ወዘተ የሚያመለክት ነው። ተብሎ የተከፋፈለ ነው።

ሀ) ትላልቅ ቅንጣቶች - ከ 5μm በላይ የሆነ የንጥል መጠን

ለ) ቅንጣት - በ 0.1μm-5μm መካከል ያለው የቁሳቁስ ዲያሜትር

ሐ) አልትራ-ማይክሮ ቅንጣቶች - ከ 0.1μm ያነሰ ቅንጣት መጠን.

የዚህን ቴክኖሎጂ አተገባበር ለማሳደግ፣ ስለ ቅንጣቢ መጠን እና μm አሃዶች ግንዛቤን ለመረዳት የተወሰነ ቅንጣት ሁኔታ ስብስብ ለማጣቀሻ ቀርቧል።

የሚከተለው የተወሰኑ ቅንጣቶች ንጽጽር ነው